體積電阻率表面電阻率測試儀測量采用三電極法對試樣進行測試，其試驗裝置主要有平板式電極裝置和高阻計兩部分組成?；驹硎菍υ嚇蛹尤氩煌瑩跷坏闹绷麟妷海鹘浽嚇拥奈⑷蹼娏饔脴藴孰娮枞臃糯蠛?，從高阻計上讀出。數字直接顯示出電阻值,精度高、顯示迅速、穩定性好、讀數方便。